【TechWeb】4月13日消息，近日东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机，时隔短短9个月，东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展，彰显出深厚的技术实力、丰富的市场化经验以及快速的研发能力。此次出机，将进一步夯实东方晶源在国内电子束检测、量测市场的领先地位。
东方晶源首台8英寸关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c300）基于东方晶源12英寸关键尺寸量测设备的技术积累，面向90nm以上技术节点的成熟工艺。具有对标12英寸主流设备的成像分辨率、百微米级大视场成像能力、多样化量测算法，可以满足客户对不同产品线、多种应用场景下的量测需求。进驻燕东微电子后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，助力客户提供更具竞争力的产品，提高服务能力。
近年来，受下游需求影响，8英寸晶圆代工厂产能持续紧缺。但由于12英寸已经逐渐成为了主流尺寸，半导体设备厂商也将业务重心向12英寸厂倾斜，设备短缺成为当下8英寸厂扩产的难点之一。以关键尺寸量测设备为例，目前市场上流通的8英寸设备绝大多数是二手翻新设备，具有性能指标不高及设备稳定性差等问题。东方晶源洞悉到晶圆代工厂这一痛点，充分发挥在电子束检测、量测领域的技术优势，积极响应，快速推出8英寸关键尺寸量测设备，成功解决产业又一难题，对推动我国半导体产业稳定发展具有重大意义。
随着半导体工艺节点不断向前推进，电子束检测的重要性愈加凸显。东方晶源凭借先发优势以及强大的研发投入，在电子束检测、量测领域积累了雄厚的技术实力，成绩斐然。承担国家02重大专项——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过；首台套电子束缺陷检测设备（EBI）已完成产线验证并获得重复订单；加速推出多款关键尺寸量测设备并取得多个订单。东方晶源在电子束检测、量测领域不断取得重要产品技术突破，填补多项国内相关领域空白。
目前，东方晶源已经和国内大部分有市场影响力的晶圆代工企业建立了合作关系，得到行业和客户的高度认可。未来，东方晶源将继续坚持以客户为中心，不断加强研发投入，扩大在国内电子束检测、量测领域的领先优势。同时，与上下游企业携手，共同推动我国半导体产业链实现全面自主可控，配合国家实现在半导体产业的战略布局。
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