10月20日晚间消息，ASML(荷兰阿斯麦)发布了2021年三季度财报。
数据层面，净销售额52亿欧元(约合386亿元)，毛利率51.7%，净利润17亿欧元(约合126亿元)。官方预计四季度销售额49亿到52亿欧元，毛利率在51%到52%。
环比之下，净销售额增加67.6%、净利润增加30.4%。
ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。
DUV(深紫外)光刻机方面，完成出货1000台ArF(氟化氩浸没式光刻系统)，这距离第一台浸没式光刻机(XT:1700Fi)出货过去了15年。
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